基于原子力显微镜的探针动态振动平台

一、客户单位：中科院宁波材料所

二、应用需求：特殊环境下控制探针悬臂生长特定材料，研究该材料颗粒对探针振动性能的影响

三、功能特点：

1、可同时在普通空气环境、液体环境、温度控制环境、气体控制环境下工作

2、集成了金相显微镜功能，可在5X~50X光学物镜放大基础上，在液体下观察探针悬臂表面特定材料颗粒生长情况

3、定制了专用的多通道进液和出液口，可同时控制多个特定腐蚀性液体进出及浓度的控制，液体池下还设计有加热台可实时给液体加热

4、定制了密闭气氛控制腔体和进出气口，以及测量CO2浓度的探测头通道

四、核心参数：

1、探针共振频率测量范围：3kHz~2MHz

2、探针力常数范围：0.06N/m~600N/m

3、Z轴升降行程：10mm

4、液体池尺寸：直径30mm，深度10mm

5、温度控制范围：室温~250°，升温速度可调

6、密闭腔体气压适合范围：0.5~2个标准大气压

7、光学物镜：5X/NA0.15，10X/NA0.30，20X/NA0.35，50X/NA0.50

8、光学目镜：10 倍 22mm 视野平场目镜一组

9、照明方式：标准科勒同轴照明

10、摄像头：500万像素CMOS传感器