计量型原子力显微镜测头系统

一、客户单位：中国航空304所

二、应用需求：原子力显微镜测头与光学干涉仪系统及多轴压电控制纳米位移台联用，开发高精度的计量型纳米测量工具

三、功能特点：

1、纳米针尖接触式测量，XY轴采用压电平板驱动样品扫描，Z轴采用压电陶瓷驱动针尖扫描

2、三轴独立式扫描，XYZ互不影响，不会相互串扰

四、核心参数：

1、Z轴测量扫描范围：≥10 um

2、Z轴噪音水平：RMS≤30 pm

3、反馈采样速率：64KHz

4、探针谐振频率范围：3kHz~2MHz

5、探针力常数范围：0.06N/m~600N/m

6、辅助光学放大倍数：5X

7、照明方式：同轴照明

五、部分测试图片：