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样品检测实例——一维光栅
栏目：企业新闻
发布时间：2022-12-13
样品名称：一维光栅
测试要求： 光栅形貌及高度测试
1. 样品位置中左，扫描范围 3*3um
光栅深度=540.4nm
2、样品位置左下，扫描范围 3*3um
光栅深度=572.6nm
3. 样品位置左上，扫描范围 3*3um
光栅深度=528.8nm
4. 样品名称 XRS-6600，扫描范围 2.5*2.5um
光栅深度=256.3nm，光栅周期=474nm