原子力显微镜在微观结构的量化中的作用

对于精确的定量测量，蚀刻或预处理的表面深度应尽量减小，应远低于平均粒径。原子力显微镜在试样表面垂直方向的分辨率是相当高的。图1显示的是一个经化学蚀刻的高温合金CMSX-6试样的三维形貌图像。较低的（绿色）部分为对应于γ相，这种相使合金拥有出色的耐高温性能。对于此合金优良的耐高温性能，γ相的体积分数以及含水率就显得影响较大。定量说明这些参数见图2。低蚀刻深度（14nm）的γ相通过线扫描说明。该部分缺陷可以在直方图的图像数据中表征。两个极大值揭示了微观γ相和晶相结构。

图1 超耐热合金 CMSX-6 的微观结构，绿色部分对应于 γ相，扫描范围为 4μm

图2通过原子力显微镜得到的 12μm范围的超耐热合金 CMSX-6 的微观结构图。制高点（左）可以用作定量说明。CMSX-6中两相高度相差14nm（底部）通过线扫描说明。γ相所占的体积分数可以从直方图中得出。

在其它合金中，球形粒子（而非立方）通过热处理而析出。比如，沃斯帕洛伊合金展示了析出物的双众数粒度分布。此时，对于大多数显微技术以及透射电子显微镜（TEM），都对较少析出的γ相的体积分数的可靠性定量说明显得比较困难，因为测定改变的薄膜厚度是一项费时的任务。然而原子力显微镜AFM则克服了这些困难。

苏州飞时曼精密仪器有限公司成立于2013年，在2015年，公司获得江苏省高新技术企业认证，拥有自主知识产权30多项，研发的多款产品被评为高新技术产品，并通过CE、ISO9001、SGS认证。公司的核心研究方向为光、机、电、算一体化的微纳米检测设备、先进的医疗仪器。飞时曼作为国内自主品牌、苏州飞时曼精密仪器有限公司，其主要产品有：原子力显微镜系列（多模式原子力显微镜 FM-Nanoview1000AFM、一体式原子力显微镜 FM-Nanoview6800AFM、拉曼原子力显微镜一体机 FM-NanoviewRa-AFM、光学原子力显微镜一体机 FM-NanoviewOp-AFM、教学型原子力显微镜 FM-Nanoview T-AFM、教学型扫描隧道显微镜 FM-NanoviewT-STM、工业型原子力显微镜 FM-NanoviewLS-AFM、拉曼光谱仪RM5000、拉曼光谱仪RM8000、拉曼光谱仪RM9000）。公司自主研发的原子力显微镜基本都具备轻敲模式，且作为国内自主研发生产的原子力显微镜厂家，只是选配与订做。