环境控制型原子力显微镜

◆ 光学金相显微镜和原子力显微镜一体化设计，功能强大

◆ 同时具备光学显微镜和原子力显微镜成像功能，两者可同时工作，互不影响

◆ 可同时在普通空气环境、液体环境、温度控制环境、惰性气体控制环境下工作

◆ 样品扫描台和激光检测头封闭式设计，内部可充放特殊气体，无需增加密封罩
◆ 激光检测采用了垂直光路设计，配合气液两用型探针架可在液体下工作
◆ 单轴驱动样品自动垂直接近探针，使针尖垂直于样品扫描
◆ 马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式，保护探针及样品

◆ 超高倍光学定位系统，实现探针和样品扫描区域精确定位
◆ 集成扫描器非线性校正用户编辑器，纳米表征和测量精度优于98%

技术参数



应用案例