组合式扫描原子力显微镜(闭环扫描台)

◆ 国内首家实现探针和样品组合式移动扫描的商业化原子力显微镜；

◆ 国内首家采用三轴独立闭环压电平移式扫描台，实现大范围高精度扫描；

◆ 三轴独立式扫描，XYZ互不影响，非常适合三维材料及形貌检测；

◆ 电动控制样品移动台和升降台，可任意编程多点位置实现快速自动化检测；

◆ 龙门架式扫描头设计，大理石底座，真空吸附和磁性吸附式载物台；
◆ 马达自动控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式，保护探针及样品；
◆ 高倍辅助光学显微定位，实时观测与定位探针以及样品扫描区域；

◆ 闭环压电扫描台无需非线性校正，纳米表征和测量精度优于99.5%。

技术参数



应用案例