◆ 激光检测头和样品扫描台集成一体，结构非常稳定，抗干扰性强◆ 精密探针定位装置，激光光斑对准调节非常简便◆ 单轴驱动样品自动垂直接近探针，使针尖垂直于样品扫描◆ 马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式，保护探针及样品◆ 自动光学定位，无需调焦，实时观测与定位探针样品扫描区域◆ 弹簧悬挂式防震方式，简单实用，防震效果好◆ 金属屏蔽隔音箱，内置高精度温湿度传感器，实时监测工作环境◆ 集成扫描器非线性校正用户编辑器，纳米表征和测量精度优于98%
技术参数应用范围
