原子力显微镜AFM 不倒问

Q:测试2/3/4inch外延片三维表征形貌以及粗糙度的原子力显微镜？

A:原子力显微镜（探头扫描式）FM-NanoviewLS-AFM。

Q:一整套包括什么？

A:AFM主机，控制器、防震箱、隔振台、轻敲、接触两种模式的探针；免费交机培训。有相应的电脑和控制软件控制扫描和绘图。

Q:交货期多久？

A:根据不同产品而定，有标准型，和定制化。定制化产品3个月。

Q:有多功能配置吗？

A:可以增加晶圆应力、翘曲度测试模块；白光干涉检测模块；根据需求来定制多功能综合性的仪器。

Q:关于x,y方向的分辨率，由于我们可能需要精确表征外延片的形貌，因此希望分辨率能够达到原子量级，但是没有在任何测试报告中看到相应的数据支撑?

A:好的，关于分辨率我这边解释一下.分辨率主要取决于控制器的采样点以及系统噪音水平，一般各个厂家都是以横向和纵向的系统噪音水平来代表分辨率水平。纵向分辨率能够达到0.05nm;至于XY方向，难度就比较大了，不仅取决于系统噪音和采样点;还跟探针针尖的尖锐程度有很大关系;一般来说，AFM的探针针尖半径是在10nm左右，经过特殊修饰的针尖半径能够达到1nm左右;因此实际上的横向分辨率大致上也就是0.2nm这个水平;目前来说，能够真正稳定的做到扫原子图像都是STM，而且大都在真空环境下。总的来说，对我们仪器纵向分辨率0.05nm是完全没有问题的，减震好的情况RMS值能达到0.02nm。0.2nm高度的原子台阶很容易测出来。横向分辨率0.2nm主要是理论值，根据采样点和RMS噪音算出来的，实际分辨率还取决于探针针尖半径，一般测几个nm的量子点没有问题。另外，探针针尖半径的大小对于XY横向分辨率影响非常大，同样的一个10nm级别的量子点样品，用针尖半径5nm，10nm，20nm的来测试效果是完全不一样的，针尖越细，量子点测的越小越清晰。针尖越粗，量子点测的就越大越模糊，甚至分辨不出来。

Q:探针一般提供或者推荐哪几种选择？

A:我们常规的标配探针是10nm半径的;也有7nm和20nm的选择;探针的厂家也有很多种，都可以选;我们的原子力显微镜各个厂家的探针都能用。

Q:6800型和光学一体机的区别在哪里？还有一个小疑惑，这个光学显微镜一体式的，就是多一个金相显微镜吗?

A:6800和1000型属于基础型原子力显微镜，只有原子力基础功能。其他品牌的原子力显微镜光学部分是定位用的，我们的光学原子力一体机光学部分是一台金相显微镜，可以进行金相组织分析。物镜配置5X、10X、20X、50X，可以自由切换使用的,一般的原子力显微镜没有这个功能的,我们的50X物镜大致可以分辨到600nm，然后可以无缝对接到AFM，真正实现从微米到纳米的跨尺度测量，复消色差成像的，具体超高清的显微图像。光学原子力是我们最有特色的产品，任何厂家的原子力都没有这个功能的，包括布鲁克，功率小于200瓦。

Q:飞时曼的afm噪音能到多少？

A:≤35pm。

Q:想测一种类似冰层的物质,温度-15到15,耐压,样品大小表面4平方

厘米。

A:目前的描述就是测表面形貌粗糙度，然后就是环境控制型，冷热一体台，需要力学测试。首先看样品是小尺寸AFM,其次要给样品制冷，必须得用我们头扫描的模式。也就是需要一款小型的头扫描的原子力显微镜。制冷台我们也可以提供，然后还需要环境控制，环境控制我们也可以提供，如果你们自己有手套箱，那就可以放在自己手套箱里面工作也可以，如果没有手套箱，我们提供环境控制的装置。您是需要一款小型的头扫描的带环境控制的原子力显微镜。